集成电路废气的种类
近十年来，集成电路产业在我国得到了迅速的发展，随着产业规模的持续扩大，随之而产生的各种污染也不断引起企业、政府部门的高度重视。集成电路产生的污染物主要有生产废水、工艺废气、生活污水、动力设备噪声和固体废物等。这些污染物必须进行有效治理才能提供安全的工作环境及优良的生态环境。下面韵蓝环保为您介绍一下集成电路产业所产生废气的种类。
①酸性废气:来源于工艺流程中使用各种酸液对芯片进行腐蚀、清洗的过程以及扩散等工序,主要污染物为氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾等。
②碱性废气:来源于使用氨水、氨气的刻蚀工序,主要污染物为NH3。
③有机废气:来源于清洗、匀胶、去胶、刻蚀、显影工序使用有机溶剂清洗的过程,主要成份为异丙醇、光刻胶等有机物。
④含尘废气:来源于CVD工艺排气,主要污染物为粉尘(SiO2)。
⑤工艺尾气:来源于扩散、离子注入和CVD等工序使用的特殊气体,如硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷(B2H6)等,除部分在工艺中反应消耗外,其余均以尾气的形式排放。
⑥热处理废气:来源于扩散等工序中的热气排放,直接排入大气。
